- 裝置特征 -

■通過專用軟件，以料盒為單位進行自動搬運。

■在搬運一側可對測量晶圓進行選擇，也支持手動搬運。

■通過工件檢測系統實現無浪費的抓取。

■通過高重復性的驅動系統，實現高可靠性的搬運。

■可實現向裝置側的各個工位進行搬運。

主要陣容

●桌面式

▲150mm桌面式自動載物臺組合

▲200mm桌面式自動載物臺組合

適用于75mm/100mm/150mm/200mm/300mm尺寸晶圓

●立式

適用于150mm/200mm/300mm尺寸晶圓

設備規格

●適用于貼合硅片顯微鏡檢查自動搬運。

●與自動工作臺組合可現實全自動搬運(需要與檢查裝置進行通信)。

●手動輸送模式：750(w)x600(D)X1480(H)(6英寸自立型，包括主電源)※我們也會探討晶圓以外的產品。

我們將為您提供測量、檢查、分析一體化系統方案。

根據需求回應

●可以根據晶圓尺寸和檢查內容給出最適宜的方案。

●能夠應對諸如貼合硅片（厚度）、搬運結構脆弱的晶圓等各種需求。因為所有的移動軸都由電機進行控制，所以對晶圓取出速度、位置坐標、插入速度、位置坐標點、支架側搬送、搬出等速度控制、坐標管理，可實現更安全的搬送。此外，通過上述程序，能夠將不同厚度的多種晶圓進行程序注冊，這樣一臺設備就可以搬運多種晶圓。

●采用了樹脂類的聚醚醚酮（PEEK）材質的

搬運臂，在發生故障時，搬運臂的破損率

以及晶圓的破損率都有所降低。

●可與現有檢查裝置聯動。

能夠在您已經在使用的檢查裝置上追加搬

運系統。不論顯微鏡品牌，我們都會探討

是否能夠適配。

●可與自動檢查裝置的聯動。但是會與檢查裝置側產生通信費用。

*需要與檢查裝置制造商進行協商。                        ▲各移動軸設定值

優秀的操作性

采用 8 英寸的可編程邏輯控制器（PLC）畫面，因此對于全數檢查、抽樣檢查等各種設定操作，都能一目了然地進行。根據您的需求，檢查畫面的布局也可以進行更改。在與自動檢查裝置聯動的情況下，采用了警示燈（三色燈），當完成25片料盒的檢查后，會通知操作人員。

▲各移動軸設定值

豐富的選項

可對應背面微觀檢查、表面宏觀檢查模式、清潔度提升、除靜電對策等各種各樣的可選配置。即使在搬運裝置導入后，也能夠追加基本規格的可選配置。

●具備多料盒自動識別功能，能夠自動識別，并通過對不同厚度產品的定位（rod）進行坐標值注冊，實現高可靠性的安全搬運。

●通過全封閉設計可以保持高度清潔的環境。

●通過2盒(裝載/卸載)、3盒(裝載和卸載

OK·NG)化，可對產品進行分類。

▲包里面觀察臂

組合示例):YIT200A-L-P-2N

與 200毫米自動工作臺聯動、具備背面檢測功能、有警示燈、對應2個料盒、為缺口檢測類型。

不論顯微鏡品牌，都可連動輸送裝置，若顯微鏡側為自動臺型，也可自動輸送25張。

但是，由于需要與檢查裝置進行通信，需要與裝置軟件負責人進行協商。

■晶圓搬運裝置基本規格

■選項

·映射（檢測產品存在/不存在）

·晶圓彈出檢測

·錯誤編碼顯示

·二維碼

·靜電防護措施（離子發生器）

·清潔度提升措施（高效空氣過濾器 / 超高效空氣過濾器）

·適應樣品尺寸和形狀

·支持多料盒